英格蘭普利茅斯-2018年11月12日?qǐng)?bào)道：屢獲殊榮的光電技術(shù)解決方案的領(lǐng) 先開(kāi)發(fā)商Plessey宣布與EV Group（EVG）進(jìn)行合作，EV Group是面向MEMS，納米技術(shù)和半導(dǎo)體市場(chǎng)的晶圓鍵合和光刻設(shè)備的領(lǐng) 先供應(yīng)商，將高性能的硅上氮化鎵（GaN-on-Si）單片microLED技術(shù)推向大眾市場(chǎng)。microLED是下一代AR應(yīng)用的關(guān)鍵光學(xué)技術(shù)。

       Plessey已從EVG購(gòu)買(mǎi)了GEMINI®生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)，以實(shí)現(xiàn)Plessey在英國(guó)普利茅斯的制造工廠的鍵合和對(duì)準(zhǔn)。這使Plessey能夠在晶圓級(jí)將其GaN-on-Si microLED陣列結(jié)合到面板的背板，并具有實(shí)現(xiàn)非常小的像素尺寸所需的高水平的對(duì)準(zhǔn)精度。
       EVG的專(zhuān) 利SmartView®NT自動(dòng)鍵對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)技術(shù)可滿足Plessey的要求，因?yàn)樗梢允咕鎸?duì)面對(duì)準(zhǔn)，并且精度很高。GEMINI自動(dòng)化生產(chǎn)晶圓鍵合系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)zui高水平的自動(dòng)化和過(guò)程集成。用于批量生產(chǎn)的300mm晶圓對(duì)晶圓對(duì)準(zhǔn)和晶圓鍵合工藝全部在一個(gè)全自動(dòng)平臺(tái)上執(zhí)行。

       Plessey工程副總裁John Whiteman解釋說(shuō)：“ GEMINI系統(tǒng)的模塊化設(shè)計(jì)非常適合我們的需求。在一個(gè)系統(tǒng)中啟用預(yù)處理，清潔，對(duì)齊（對(duì)準(zhǔn)）和鍵合，這意味著擁有更高的產(chǎn)量和生產(chǎn)量。EVG提供的優(yōu)質(zhì)服務(wù)對(duì)于快 速有 效地使系統(tǒng)聯(lián)機(jī)至關(guān)重要。”

       EVG的執(zhí)行技術(shù)總監(jiān)Paul Lindner表示：“我們很榮幸Plessey選擇了我們蕞先進(jìn)的GEMINI系統(tǒng)來(lái)支持其雄心勃勃的技術(shù)開(kāi)發(fā)路線圖和大批量生產(chǎn)計(jì)劃。”

       該公告標(biāo)志著Plessey在生產(chǎn)級(jí)設(shè)備投 資上的另一個(gè)重要里程碑，該設(shè)備將GaN-on-Si硅基氮化鎵單片microLED產(chǎn)品推向市場(chǎng)。

關(guān)于普萊西

       Plessey是英國(guó)先進(jìn)光電技術(shù)解決方案的領(lǐng) 先開(kāi)發(fā)商。該公司為各種光電器件和系統(tǒng)提供其獨(dú)特的專(zhuān)有硅上氮化鎵平臺(tái)的批量處理。
       Plessey的總部位于英國(guó)普利茅斯，擁有領(lǐng) 先的150mm和200mm晶圓加工設(shè)施，以進(jìn)行產(chǎn)品的設(shè)計(jì)，測(cè)試和組裝，以及一整套完善的光子表征和應(yīng)用實(shí)驗(yàn)室。
       Plessey是用于顯示引擎（DMD和LCOS）和全場(chǎng)發(fā)射microLED顯示器的創(chuàng)新照明器的屢獲殊榮的提供商，這些顯示器將超高密度RGB像素陣列與高性能CMOS背板結(jié)合在一起，可產(chǎn)生非常高的亮度，低功耗以及用于頭戴式顯示器（HMD），增強(qiáng)現(xiàn)實(shí)（AR）和虛擬現(xiàn)實(shí)（VR）系統(tǒng)的高幀率圖像源。 

關(guān)于EVG

       EV Group（EVG）是制造半導(dǎo)體，微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS），化合物半導(dǎo)體，功率器件和納米技術(shù)器件的設(shè)備和工藝解決方案的領(lǐng) 先供應(yīng)商。主要產(chǎn)品包括晶圓鍵合，薄晶圓處理，光刻/納米壓印光刻（NIL）和計(jì)量設(shè)備，以及光刻膠涂布機(jī)，清洗機(jī)和工藝檢測(cè)系統(tǒng)。成立于1980年的EV Group服務(wù)于復(fù)雜的全球客戶和合作伙伴網(wǎng)絡(luò)，并為其提供支持。