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光學器件批量生產的納米壓印解決方案

發布時間：2022-03-16

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1、簡介

       EVG7300 是蕞先近的 EVG 解決方案，可將多種基于 UV 的工藝（例如納米壓印光刻 (NIL)、透鏡成型和透鏡堆疊（UV 鍵合））集成在一個平臺。

       EVG7300 SmartNIL® 納米壓印和晶圓級光學系統是一種多功能、先進的解決方案，在一個平臺中結合了多種基于紫外線的工藝能力。

       SmartNIL® 結構化增強現實 (AR) 波導和晶圓級微透鏡印記展示了新型 EVG7300 的應用多功能性。

EVG7300_納米壓印設備.jpg

       奧地利弗洛里安，報道— 為MEMS、納米技術和半導體市場提供晶圓鍵合和光刻設備的領仙供應商 EV Group (EVG) 推出了 EVG7300 自動化 SmartNIL納米壓印和晶圓級光學系統。 
       EVG7300 是該公司蕞先近的解決方案，將多種基于 UV 的工藝能力結合在一個平臺中，例如納米壓印光刻 (NIL)、透鏡成型和透鏡堆疊（UV 鍵合）。這個準備就緒的多功能系統旨在滿足涉及微米和納米圖案以及功能層堆疊的各種新興應用的高級研發和生產需求。其中包括晶圓級光學器件 (WLO)、光學傳感器和投影儀、汽車照明、增強現實耳機的波導、生物醫療設備、超透鏡和超表面以及光電子學。 EVG7300 支持高達 300 毫米的晶圓尺寸，并具有高精度對準、先進的工藝控制和高產量，可滿足各種自由形狀和高精度納米和微米光學元件和設備的大批量制造需求。
納米壓印鏡頭制作.jpg
       EV Group 企業技術總監 Thomas Glinsner 表示：“憑借 20 多年的納米壓印技術經驗，EV Group 繼續開拓這一關鍵領域，開發創新解決方案，以滿足客戶不斷變化的需求?！?“我們蕞新推出的納米壓印解決方案系列 EVG7300 將我們的 SmartNIL 全場壓印技術與鏡頭成型和鏡頭堆疊結合在蕞先近的系統中，并具有市場上蕞精確的對準和工藝參數控制——為我們的客戶提供前所未有的靈活性，以滿足他們的行業研究和生產需求?！?/span>
       EVG7300 系統在 EVG 的 HERCULES® NIL 完全集成的 UV-NIL 跟蹤解決方案中作為獨力工具和集成模塊提供，其中額外的預處理步驟，如清潔、抗蝕劑涂層和烘烤或后處理，可以添加以針對特定的過程需求進行優化。該系統具有行業領仙的對準精度（低至 300 nm），這是通過對準臺改進、高精度光學、多點間隙控制、非接觸式間隙測量和多點力控制的組合實現的。 EVG7300 是一個高度靈活的平臺，提供三種不同的工藝模式（透鏡成型、透鏡堆疊和 SmartNIL 納米壓印），并支持從 150 毫米到 300 毫米晶圓的基板尺寸?？焖偌虞d印模和晶圓、快速對準光學器件、高功率固化和小工具占用空間，使高效平臺能夠滿足行業對新興 WLO 產品的制造需求。
2、產品可用性
       EVG 目前正在接受該系統的訂單，產品演示現已在位于公司總部的 EVG 的 NILPhotonics® 能力中心提供。有關 EVG7300 自動化 SmartNIL 納米壓印和晶圓級光學系統的更多信息，請訪問 https://www.evgroup.com/products/nanoimprint-lithography/uv-nil-smartnil/evg-7300/。
3、EVG參加SPIE AR/VR/MR 2022
       EVG 在 SPIE AR/VR/MR 會議和展覽上就 NIL 在制造增強現實波導中的好處進行受邀演講，該會議與在舊金山 Moscone 中心舉行的 SPIE Photonics West 共同舉辦1 月 22 日至 27 日。 EVG 也是此次活動的參展商，將展示其用于光學和光子器件及應用的先進制造解決方案。
4、關于 EV 集團 (EVG)
       EV Group (EVG) 是半導體、微機電系統 (MEMS)、化合物半導體、功率器件和納米技術器件制造設備和工藝解決方案的領仙供應商。 主要產品包括晶圓鍵合、薄晶圓加工、光刻/納米壓印光刻 (NIL) 和計量設備，以及光刻膠涂布機、清潔劑和檢測系統。 EV Group 成立于 1980 年，為遍布全球的全球客戶和合作伙伴網絡提供服務和支持。 有關 EVG 的更多信息，請訪問我們的官網。

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