華南地區(qū)某杰出高校與國內(nèi)某杰出平板電視廠商合作成立的OLED項(xiàng)目產(chǎn)業(yè)基地，向岱美采購的EVG6200NT光刻機(jī)于今年八月份正式裝機(jī)驗(yàn)收完成，這是繼EVG在華東地區(qū)遍地開花后，在華南市場再下一城，這也是EVG在國內(nèi)安裝的首臺NT系列光刻機(jī)，標(biāo)志著EVG正式邁出了其向華南市場進(jìn)軍最堅(jiān)實(shí)的一步。

        EVG公司是半導(dǎo)體、微電子機(jī)械系統(tǒng)以及納米技術(shù)領(lǐng)域應(yīng)用的領(lǐng)先者。其產(chǎn)品的銷售業(yè)績一直居于業(yè)內(nèi)的榜首。它的主要產(chǎn)品包括芯片鍵合、納米壓印、平版印刷、測量儀器、雙面光刻、涂膠、清洗、以及檢查系統(tǒng)。他們提供的Aligner設(shè)備全球優(yōu)越，除標(biāo)準(zhǔn)的雙面對準(zhǔn)光刻，它也可以用作鍵合前的最先預(yù)對準(zhǔn)。EVG的光刻設(shè)備因其良好的穩(wěn)定性和極高的對位精度，可用于各種要求嚴(yán)格的場合，有手動、半自動及全自動型號可選，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、MEMS及先進(jìn)封裝生產(chǎn)及研發(fā)。

         NT系列光刻機(jī)作為EVG公司的下一代主力產(chǎn)品，其增強(qiáng)化的設(shè)計(jì)主要體現(xiàn)在花崗巖底座的主動防震隔離、用于頂部顯微鏡Y軸定位的線性馬達(dá)和軟件的現(xiàn)場對位確認(rèn)上，這都非常有效地提高了操作的簡便性以及設(shè)備本身的對位精度。