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Subnano輪廓儀怎么用?

發布時間:2019-12-16

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1. 下面我們來討論下輪廓儀應該怎么用

  NanoX-2000/3000系列、3D光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量(PSI)、白光垂直掃描干涉測量(VSI)和單色光垂直掃描干涉測量(CSI)等技術的基礎上,以其納米級測量準確度和重復性(穩定性)定量地反映出被測件的表面粗糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。


2. 輪廓儀的產品優勢有哪些?

  美國硅谷研發的合心技術和系統軟件;

  關鍵硬件采用美國、德國、日本等知名品牌;

  PI納米移動平臺及控制系統;

  Nikon干涉物鏡;

  NI信號控制板和Labview64 控制軟件;

  TMC光學隔振臺;

  測量準確度重復性達到世界先進水平(中國計量科學研究院證書)。


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