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翹曲度測量儀的功能優點體現在哪里
發布時間：2023-01-13
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美國FSM成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備。
美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀特殊功能優點：
1、*封閉的設計，溫度更穩定。
2、特殊的設計使震動偏移降到較低。
3、圖形式使用界面更容易使用。
4、當改變彈性模數，晶圓或薄膜厚度設備會自動重新計算應力保存數據文檔。
5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數。
6、可以計算應力的均勻性。
7、可以輸出數據到Excel ，提供給SPC 分析。
8、多重導向銷設計，手動裝載樣品，有優異的重復性與再現性研究。
9、優異的分辨率測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡（大約 0.8%）
10、FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀全3D測繪的手動旋轉平臺。
11、測量局部應力測量42 點/mm 并大于8400 點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
美國FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀特殊功能優點：
1、*封閉的設計，溫度更穩定。
2、特殊的設計使震動偏移降到較低。
3、圖形式使用界面更容易使用。
4、當改變彈性模數，晶圓或薄膜厚度設備會自動重新計算應力保存數據文檔。
5、可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數。
6、可以計算應力的均勻性。
7、可以輸出數據到Excel ，提供給SPC 分析。
8、多重導向銷設計，手動裝載樣品，有優異的重復性與再現性研究。
9、優異的分辨率測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡（大約 0.8%）
10、FSM高溫薄膜應力及翹曲度測量儀全3D測繪的手動旋轉平臺。
11、測量局部應力測量42 點/mm 并大于8400 點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。
滬公網安備 31011502016664號
唐女士-華南、西南