nSpec LS 晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)

       本產(chǎn)品主要是用于檢測晶圓表面的缺陷。是一套實用的晶圓缺陷檢測光學系統(tǒng)。無論用戶對樣品檢驗有什么具體要求，我們都能提供廣范的解決方案來獲得快速的結果。
       nSpec LS是研發(fā)和過程開發(fā)的理想系統(tǒng)。它按順序運行多個掃描。友好的用戶界面軟件使配置配方變得毫不費力。而且，隨著需求的發(fā)展，配方保存和修改也是非常方便的。
1. 半自動晶圓缺陷檢測功能
        ·基板，外延和圖案化晶圓
        ·透明和不透明的材料
        ·在膠片膠帶，托盤，凝膠包裝或蛋餅形包裝上模切
        ·光罩
        ·樣品碎片
2. 系統(tǒng)特征
        ·多種分辨率設置，范圍從0.25 μm及更高
        ·快速掃描
        ·可定制的缺陷報告
        ·各種樣品夾頭可滿足特定需求
        ·對缺陷或感興趣的特征進行檢測和分類的魯棒分析
        ·檢查和審查程序
        ·多系統(tǒng)同步
        ·占地面積小，設施要求zui少
        ·機架安裝控件
3. 系統(tǒng)參數(shù)
        重量：318 kg
        外觀尺寸(W x D x H)：53 cm x 133 cm x 176 cm
        zui小氣壓：24 in. Hg (70 kPa)
        電源：110v/220v, 3.5 amps
光學器件：
        照明模式：Brightfield, Darkfield, DIC (Nomarski)
        光源：白光LED（也可選其他）
        物鏡倍率：2.5, 5, 10, 20, 或50x，用戶可選
工作臺：
       典型行程：200 mm，X和Y方向
       定位：帶有閉環(huán)編碼器的線性伺服電機（分辨率為50 nm）
       重復性：+/- 0.5 μm

行程平整度：30 μm

       結構：精密地面滾道和交叉滾子軸承
       支撐平臺：顯微鏡/重型底座集成到隔離臺中
       中心負載能力：2.27 kg
       重量：11.33 kg
       尺寸(W x D x H)：35 cm x 37 cm x 4 cm
備選功能：
       AFM原子力顯微鏡：可根據(jù)要求提供規(guī)格
       SECS/GEM
       透射光
       自動傳送晶圓片